Моносилан — это газообразный силан, который широко используется в полупроводниковой промышленности. Этот бесцветный, самовоспламеняющийся газ высокого давления, состоящий из атомов кремния и водорода, играет важную роль в производстве современных электронных компонентов. В этой статье мы рассмотрим, как моносилан применяется в полупроводниковой промышленности.