Несмотря на то, что обыватель мало что знает о моносилане, практически ни одна современная отрасль не обходится без этого вещества. Из всех существующих силанов моносилан является наиболее стабильным и устойчивым. Процесс его разложения на водород и кремний начинается при температуре от +500°С. Чем температура выше, тем быстрее происходит распад. Моносилан загорается в воздухе уже при t -180°С. В присутствии высших силанов с высокой вероятностью произойдет взрыв. При сгорании газа получаются соединения кремниевой кислоты, SiO и Si02.